01 / 제품 개요
제품 개요
Mini CVD는 석영관과 플랜지를 일체형 모듈로 구성한 소형 튜브 퍼니스입니다. 석영관·플랜지 모듈만 글로브박스에 반입할 수 있으며, 본체는 일반 연구실의 대기 환경에 설치합니다. 비활성 가스 또는 공정 가스 분위기에서 CVD와 열처리 실험에 활용할 수 있습니다.
모델·옵션별 적용 범위는 문의 시 확인해 주세요.
02 / 제품 특징
제품 특징
- 01글로브박스 연계: 석영관·플랜지 일체형 모듈만 반입하는 구조
- 02분위기 제어: 아르곤·산소·메탄 등 공정에 맞는 가스 공급과 진공펌프 배기
- 03전구체 공급: 캐니스터·버블러 방식, 최대 4개 가스 라인 구성
- 04프로그램 온도 제어: 설정한 온도 프로그램에 따른 가열 공정
- 05소형 CVD·열처리 겸용: 연구실에서 소재 합성·증착·열처리 실험에 활용
03 / 주요 사양
주요 사양
| 모델 | TLP-1008-MF |
|---|---|
| 장치 형식 | 소형 분할형 튜브 퍼니스 |
| 적용 공정 | CVD / 열처리 |
| 석영관 직경 | Ø40 mm (내·외경 구분은 문의 시 확인) |
| 석영관 길이 | 400 mm |
| 글로브박스 반입 대상 | 석영관·플랜지 일체형 모듈 |
| 밀봉 방식 | 바이톤(Viton) 링 |
| 밀봉부 허용 온도 | 150 °C (가열부 사용 온도와 구분) |
| 사용 가스 | 아르곤 / 산소 / 메탄 등 |
| 최대 가스 유량 | 1,000 sccm (라인별·전체 유량 기준은 문의 시 확인) |
| 가스 유량 제어 | 유량계 / MFC(선택 사양) |
| 배기 방식 | 진공펌프 |
| 전구체 공급 방식 | 캐니스터 / 버블러 |
| 가스 라인 수 | 최대 4개 |
| 온도 제어 | 프로그램 제어 |
| 최고 가열 온도 | 1100 °C (1시간 미만) |
| 연속 가열 온도 | 900 °C |
| 전체 가열 구간 | 184 mm |
| 균일 온도 구간 | 60 mm (±1 °C), 900 °C 기준 |
| 전원 | AC 220 V |
| 소비 전력 | 2 kW |
| 본체 설치 환경 | 일반 연구실의 대기 환경 |
04 / 적용 분야
적용 분야
- 열처리
- 화학기상증착(CVD)
05 / 선택 옵션
선택 옵션
진공 게이지
MFC(디지털 표시 장치 포함)
진공 펌프
06 / 이미지·구조도
제품 이미지·구조도
AI 제품 지원
제품 기술자료, AI에게 물어보세요.
NotebookLM에서 제품 사양, 적용 분야와 기술자료에 관해 질문하세요. 가격·납기·주문제작 조건은 담당자에게 문의해 주세요.
NotebookLM에서 기술자료에 질문하기 · Google 로그인 필요 · 새 탭으로 열립니다.
