Mini CVD

개발 목적

CVD·열처리 실험을 위한 소형 튜브 퍼니스

구현 기능

주요 사양

모델

TLP-1008-MF

장치 형식

소형 분할형 튜브 퍼니스

적용 공정

CVD / 열처리

석영관 직경

Ø40 mm (내·외경 구분은 문의 시 확인)

석영관 길이

400 mm

글로브박스 반입 대상

석영관·플랜지 일체형 모듈

밀봉 방식

바이톤(Viton) 링

밀봉부 허용 온도

150 °C (가열부 사용 온도와 구분)

사용 가스

아르곤 / 산소 / 메탄 등

최대 가스 유량

1,000 sccm (라인별·전체 유량 기준은 문의 시 확인)

가스 유량 제어

유량계 / MFC(선택 사양)

배기 방식

진공펌프

전구체 공급 방식

캐니스터 / 버블러

가스 라인 수

최대 4개

온도 제어

프로그램 제어

최고 가열 온도

1100 °C (1시간 미만)

연속 가열 온도

900 °C

전체 가열 구간

184 mm

균일 온도 구간

60 mm (±1 °C), 900 °C 기준

전원

AC 220 V

소비 전력

2 kW

본체 설치 환경

일반 연구실의 대기 환경

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